Otwórz system rozpylania . Zdjąć osłonę pistoletu rozpylania i odkręcić pierścień, który posiada swój cel rozpylania na miejscu . Umieść cel tlenkiem metalu na pistolecie napylania jonowego i przykręcić pierścień docelowej z dokładnością śrubokręt . Wymienić tarczę pistoletu rozpylania . Umieścić podłoże z tworzywa sztucznego do uchwytu substratu. Zamknąć układ rozpylania .
2
pompy systemu rozpylania w dół do odpowiedniego ustawienia ciśnienia , takie jak 10 ^ -6 milibarów. Upewnić się, żeprzesłona jest zamknięta tak,podłoże nie jest narażona na osadzanie , aż będą potrzebne . Wprowadzenie argonu systemu do komory , aż do osiągnięciaciśnienia o 5 milibarów .
3
włączyć radio częstotliwości zasilania. Poczekaj, ażwidoczny w osoczu może być postrzegane w komorze rozpylania . Otwórz osłonę . Podłoże z tworzywa sztucznego jest obecnie narażona na osadzanie się cząstek tlenku metalu. Zamknąć migawkę popożądanej grubości zostało uzyskane . Imperium